真空腔室Ф246×228mm,304优质不锈钢
分子泵进口Pfeiffer分子泵
前级泵机械泵,北仪优成
真空规全量程真空规,上海玉川
溅射靶Ф2英寸永磁靶2支(含靶挡板)
溅射电源500W直流电源1台,300W射频电源1台
流量计20sccm/50sccm进口WARWICK
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
旁路阀GDC-25b电磁挡板阀1套
限流阀DN63mm一套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
放气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台Ф100mm,高度:60~120mm可调,旋转:0-20r/min可调,可加热至300℃
膜厚监控仪进口Inficon SQM-160单水冷探头,精度0.1Å(选配)
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35法兰一个
备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
靶材通常指用于某种实验或应用中,作为靶子或目标的材料。在不同的领域,靶材的具体含义和用途可能略有不同:
1. **物理和粒子物理学**:靶材可以是用于粒子碰撞实验中的物质,粒子通过撞击靶材产生反应,以研究基本粒子及其相互作用。
2. **光谱学**:在光源或激光实验中,靶材可能用于激发或产生特定的光谱信号。
3. **材料科学**:靶材还可以用于薄膜沉积技术(如磁控溅射),在该过程中靶材被靶向发射以形成薄膜。
4. **激光加工**:靶材亦可用于激光打标、切割等加工方法,通过激光光束对靶材进行作用。
您是否有兴趣了解某一特定领域的靶材?
样品台,通常用于实验室、工业生产和研究等领域,具有以下几个特点:
1. **稳定性**:样品台通常设计得稳定,以确保在进行实验或观察时,样品受到外部震动或干扰的影响。