真空腔室L400×W440×H450mm,采用SUS304优质不锈钢
观察窗Φ100mm,含磁力挡板
屏蔽板不锈钢,便于拆卸清洁、更换
水冷蒸发电极8根组成4组
金属蒸发电源功率3kW
复合分子泵JTFB-650Z脂润滑分子泵,抽速650L/s
直联高速旋片式真空泵TRP-36,抽速9L/s
气动高真空插板阀DN150
前级阀/旁路阀DN40
放气阀φ10 电磁充气阀
数显复合真空计两低一高,含规管
波纹管、真空管道材质SUS304不锈钢
蒸发舟是一种用于物相沉积(PVD)或蒸发沉积的设备,主要用于将固体材料蒸发并沉积到基片上,形成薄膜。蒸发舟通常由耐高温材料制成,能够承受高温下的操作。
在蒸发过程中的固体颗粒会由于加热而转变为蒸气,随着温度的升高,颗粒会在瞬间蒸发并向基片表面移动。经过冷却,蒸气会在基片表面凝结,形成所需的薄膜结构。
蒸发舟的使用广泛应用于半导体、光电、光学薄膜以及许多其他材料的沉积工艺中。因为其较高的沉积速率和良好的薄膜均匀性,蒸发舟成为量薄膜制造的重要工具。
蒸发舟是一种用于薄膜沉积和蒸发材料的装置,广泛应用于材料科学、半导体制造以及光学薄膜的生产中。它的主要功能和特点包括:
1. **材料蒸发**:蒸发舟通过加热将固体材料加热到其熔点或蒸发点,使其转变为气态,随后沉积到基材上形成薄膜。
2. **薄膜均匀性**:蒸发舟可以控制蒸发速率和温度,从而在基材上形成均匀厚度的薄膜,这对于光学性能和电学性能至关重要。
3. **控制**:通过调整蒸发舟的加热方式(如电阻加热、激光加热等),可以实现对蒸发速率和沉积材料的控制。
4. **多种材料**:可以使用材料,如金属、氧化物和聚合物,进行蒸发沉积,以满足不同应用的需求。
5. **真空环境**:通常在真空环境中进行操作,以减少氧化和污染,提高薄膜的质量和性能。
6. **应用广泛**:用于光电器件、太阳能电池、传感器等多个领域,通过制备高性能薄膜来提升器件性能。
蒸发舟在薄膜技术中的重要性使其成为现代材料科学和工程中的一种关键工具。

钙钛矿镀膜机是一种用于制备钙钛矿材料薄膜的设备,广泛应用于光伏、光电和其他相关领域。以下是钙钛矿镀膜机的一些主要特点:
1. **能**:钙钛矿镀膜机能够快速制备量的钙钛矿薄膜,提升生产效率。
2. **均匀性**:设备设计确保薄膜厚度均匀,能够满足高性能器件的要求。
3. **多种制备方法**:钙钛矿镀膜机通常支持多种薄膜制备技术,如溶液法、蒸发法和喷涂法等,提供灵活的工艺选择。
4. **温控系统**:设备配有的温控系统,以确保在镀膜过程中温度稳定,避免材料性质受到影响。
5. **气氛控制**:部分钙钛矿镀膜机可以在惰性气体或特定气氛下工作,减少氧化和其他不利反应。
6. **自动化程度高**:许多钙钛矿镀膜机具有高度自动化功能,减少人工干预,提高操作安全性和性。
7. **易于集成**:设备通常设计便于与其他测试和后处理设备集成,形成完整的生产线。
8. **可扩展性**:根据生产需求,可以灵活扩展规模,以满足不同量产要求。
这些特点使钙钛矿镀膜机在现代材料研究和工业生产中成为重要的设备之一。

束源炉是一种用于核聚变研究和实验的设备,其主要特点包括:
1. **高温高压环境**:束源炉能够创造极高的温度和压力,以促进核聚变反应的发生。
2. **等离子体控制**:通过强磁场或其他手段,束源炉能够有效控制和维持等离子体的稳定性,这是实现聚变的关键。
3. **粒子束注入**:束源炉通常使用高速粒子束注入技术,将粒子直接注入等离子体中,以提高反应的效率以及能量的密度。
4. **实验灵活性**:束源炉的设计允许对不同的聚变燃料(如、氚等)进行实验,这为研究聚变反应提供了灵活性。
5. **能量输出**:如果成功实现聚变反应,束源炉有潜力成为一种的能量来源,对未来的能源解决方案具有重要意义。
6. **研究应用**:束源炉不仅用于基础科学研究,还可应用于医学、材料科学及核能开发等多个领域。
总体而言,束源炉是一种的科学仪器,为核聚变技术的发展提供了重要的实验平台。

蒸发舟是用于蒸发物质的一种设备,广泛应用于薄膜制备、材料合成和真空蒸发等领域。在蒸发过程中,蒸发舟在高温下加热,使得固体颗粒转变为气态,从而形成薄膜或其他材料。
蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面:
1. **粒度均匀性**:蒸发舟通常能够提供比较均匀的加热,从而使得蒸发出来的颗粒在粒度上保持一致,有助于提高材料的性能。
2. **高纯度**:在真空条件下进行蒸发,能够有效减少杂质的引入,从而提高所得到的薄膜或颗粒的纯度。
3. **可控性强**:通过调整温度、压力和蒸发时间,可以控制颗粒的蒸发速率和终的结构特性。
4. **形成薄膜的能力**:蒸发过程中,颗粒在冷却后会凝结形成薄膜,具有良好的附着性和均匀性。
5. **适用范围广**:可适用于多种材料,例如金属、氧化物、氮化物等,应用于电子器件、光学涂层等领域。
6. **重现性好**:蒸发过程中条件可重复,且易于实现规模化生产,能够满足工业应用的需求。
综上所述,蒸发舟蒸发颗粒具备均匀性、高纯度、可控性强及适用范围广等优点,使其在材料科学和工程领域中具有重要的应用价值。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积的设备,主要适用于以下几个领域:
1. **半导体制造**:用于沉积金属薄膜,如铝、铜等,用于集成电路和其他电子元器件的生产。
2. **光电材料**:在太阳能电池、显示器和LED等领域,电阻蒸镀机可以用于沉积透明导电氧化物(如ITO)以及其他功能性薄膜。
3. **光学薄膜**:用于制造光学涂层,如反射镜、滤光片和抗反射涂层等。
4. **装饰性涂层**:在珠宝、手表以及消费电子产品中,用于涂覆金属层,以提高外观和耐腐蚀性能。
5. **传感器和电极**:在传感器和电极的制作中,电阻蒸镀能够提供高均匀性和良好的附着性。
电阻蒸镀机因其优良的沉积质量、较高的均匀性和对薄膜厚度的控制能力,在这些领域得到了广泛应用。
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