真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
束源炉是一种用于聚变研究和安全应用的装置，主要用于产生和控制高温等离子体。它通常采用磁约束方式来保持等离子体的稳定性，使得核反应能够在相对较长的时间内持续进行。这类装置在核聚变能的研发中具有重要的地位，尤其是在实现清洁能源的大规模应用方面，有着潜在的重大意义。
束源炉的工作原理通常涉及将和氚作为燃料，通过加热和压缩等离子体，使其达到聚变所需的条件。与传统的能量生产方式相比，聚变能具有较低的放射性废物产生、丰富的燃料来源和较高的能量输出等优点。
目前，许多都在进行聚变能的研究，尤其是国际热核聚变实验反应堆（ITER）项目，旨在通过合作研发安全、的聚变技术，推动清洁能源的实现。
蒸发舟是一种常用于材料科学和薄膜制备的设备，特别是在物相沉积（PVD）技术中。蒸发舟的主要作用是通过加热将固态材料转化为气态，以实现薄膜的沉积。蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面：
1. **均匀性**：蒸发过程中，颗粒的蒸发速率较为均匀，能够在基底上形成均匀的薄膜。
2. **可控性**：通过调节加热温度和加热时间，可以控制蒸发速率，从而调节薄膜的厚度和组成。
3. **材料兼容性**：蒸发舟可以用于多种不同材料的蒸发，如金属、氧化物和高分子材料等，适应性较强。
4. **颗粒尺寸**：蒸发颗粒的尺寸通常较小，有助于加快蒸发速度，提升薄膜的沉积效率。
5. **高纯度**：蒸发舟中使用的材料一般要求高纯度，以确保终薄膜的性能和质量。
6. **热稳定性**：蒸发舟本身需要具备良好的热稳定性，以承受高温而不发生变形或熔化。
7. **气氛控制**：蒸发实验通常在真空或特定气氛中进行，以避免反应杂质的影响，确保颗粒的质量。
这些特点使得蒸发舟在真空蒸发和其他沉积技术中得到了广泛应用。
有机蒸发镀膜机是一种用于在基材上沉积有机薄膜的设备，广泛应用于光电器件、显示器、太阳能电池等领域。其主要特点包括：
1. **能沉积**：有机蒸发镀膜机能够地将有机材料转化为气相并沉积在基材表面，形成均匀的薄膜。
2. **良好的膜质量**：设备通常采用的真空技术，能够有效去除杂质，从而获得量的有机薄膜，具有良好的光学和电气性能。
3. **自动化程度高**：现代有机蒸发镀膜机一般配备自动化控制系统，能够控制各个工艺参数，如温度、压力、沉积速率等，提升了生产效率和膜层一致性。
4. **适应性强**：该设备可以处理类型的有机材料，包括小分子有机物和高分子聚合物，适用于不同的应用需求。
5. **设备灵活性**：有机蒸发镀膜机通常具有较高的配置灵活性，可以根据不同的工艺需求进行调整和改造，适应多种生产环境。
6. **节能环保**：部分有机蒸发镀膜机采用节能设计，降低了能源消耗，同时在材料选择和生产过程中也考虑环保因素。
7. **适用于大面积沉积**：一些型号能够实现大面积基材的沉积，满足大尺寸器件的生产需求。
综上所述，有机蒸发镀膜机凭借其、灵活和环保的特点，成为了现代电子和光电产业中的重要设备。
束源炉（或称束流反应堆）是一种利用粒子束产生高能粒子的设备，主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括：
1. **粒子加速**：束源炉能够加速粒子到高能状态，为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**：通过产生高能粒子束，束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**：支持核物理研究，例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**：在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**：用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说，束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具，具有多种功能。
蒸发舟（或称为蒸发小舟）在化学和材料科学中主要用于薄膜的制备和物质的蒸发沉积。它的基本功能包括：
1. **材料蒸发**：蒸发舟可以将固态材料加热到其蒸发温度，使其转变为气态，通过真空或惰性气体环境将蒸发出的颗粒沉积在基材上。
2. **薄膜沉积**：通过控制蒸发过程可以在基材上形成均匀、薄的薄膜，这对于制作电子器件、光学涂层等重要。
3. **材料选择性**：蒸发舟可以用于多种材料（如金属、氧化物、聚合物等）的蒸发，适应不同的应用需求。
4. **控制**：通过调整加热功率和蒸发时间，可以控制沉积的厚度和质量。
5. **提高纯度**：在真空环境中蒸发，可以减少杂质及氧化反应，得到较高纯度的沉积材料。
6. **应用广泛**：蒸发舟被广泛应用于半导体制造、光学器件、太阳能电池、传感器等领域。
通过这些功能，蒸发舟在材料的制备和研究中起到了关键的作用。
束源炉（也称为束流炉或束流反应堆）是一种利用加速器产生的粒子束进行核反应的设备。它主要用于以下几个领域：
1. **基础科学研究**：束源炉可用于粒子物理学和核物理学的基础研究，探索粒子的基本性质和相互作用。
2. **材料科学**：束源炉可以用于开发和测试新材料，尤其是在极端条件下（如高温、高压）下的材料性能。
3. **应用**：束源炉在医学成像、（如质子）等领域具有重要应用。
4. **核废料处理**：束源炉可以用于研究和开发核废料处置和转化技术，降低其长期放射性。
5. **新型能源开发**：在聚变能源研究中，束源炉也被应用于研究高温等离子体的行为，以探索可持续的能源解决方案。
束源炉的适用范围不断拓展，随着技术进步和研究的发展，可能会有新的应用领域出现。
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