温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min，升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮（泵控制）
探针数量4（可增加）
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质，35*35mm（以实际尺寸为准）
冷热台尺寸160*150*29mm（以实际尺寸为准）
实验环境可抽真空，可充入保护气氛（氮气），配水冷接口
真空探针台（Vacuum Probe Station）是一种用于半导体材料和器件测试的实验设备。它在高真空环境下操作，可以有效降低外部污染和氧化，确保测试结果的准确性。真空探针台通常配备有多组针头探针，用于电气测试、信号传输和表面分析等。
真空探针台的主要应用包括：
1. **半导体器件测试**：用于测试晶体管、二极管、集成电路等器件的电性能。
2. **材料研究**：可用于研究新型半导体材料、纳米材料等的特性。
3. **微纳米技术**：在微米和纳米尺度上进行电学、光学等性能测试。
4. **失效率分析**：通过在真空环境中测试，分析器件的失效率和可靠性。
真空探针台的工作原理是将样品放置在真空环境中，通过探针直接接触样品的电极进行测量。通常配备有精密的定位系统，以保证探针与样品的准确接触。
在使用真空探针台时，操作人员需要对设备进行良好的维护和校准，以确保测试结果的准确性和重复性。
微型高低温真空探针台是一种用于电子材料和器件测试的精密仪器，具备以下几个主要特点：
1. **高低温测试能力**：能够在极低温（如液氮温度）到高温（如400°C以上）范围内进行测试，适用于不同温度环境下的材料性能研究。
2. **真空环境**：探针台设计用于在高真空条件下操作，减少氧化和污染，确保测试结果的准确性和重复性。
3. **高精度探测**：配备高精度的探针和测量系统，能够准确获取微小电流、电压等信号，适用于微小尺度器件的电测量。
4. **微型化设计**：体积小巧，便于在有限空间内进行操作，适合于微电子器件、纳米材料等研究。
5. **灵活的样品装配**：通常具有友好的样品夹具设计，便于不同类型和尺寸的样品装配和更换。
6. **多功能性**：可能支持多种测试模式，如直流测试、交流测试、霍尔效应测试等，适用范围广。
7. **易于连接**：可与其他测试设备（如示波器、信号发生器等）快速连接，便于进行综合测试。
总之，微型高低温真空探针台在材料科学、半导体研究和纳米技术等领域中具有重要的应用价值。
探针台卡盘（Probing Station Chuck）在半导体测试和研究中具有重要功能。它的主要功能包括：
1. **样品固定**：探针台卡盘能够稳固地固定待测试的半导体芯片或其他样本，确保在测试过程中样品不发生移动。
2. **定位**：通过高精度的微调机制，卡盘可以实现样品的定位，以便于探针与样品上的特定点进行接触。
3. **温度控制**：一些的探针台卡盘配备了温度控制功能，可以在不同的温度条件下进行测试，以研究温度对电性能的影响。
4. **电气连接**：卡盘通常与探针阵列一起工作，通过探针与样品接触，实现电气信号的传输，允许测试电性能参数。
5. **兼容性**：探针台卡盘设计通常具有良好的兼容性，可以与不同类型和尺寸的样本以及探针头配合使用。
6. **环境控制**：一些探针台卡盘具备气氛控制功能，可以在特定气氛（如氮气或真空环境）中进行测试，以降低氧化和其他环境影响。
总的来说，探针台卡盘在半导体研发和制造过程中扮演着至关重要的角色，它不仅提高了测试的性，还为研究提供了的实验条件。
同轴真空馈通件是一种用于信号传输的元件，主要的功能包括：
1. **信号传输**：用于在真空环境中传输或微波信号，确保信号的有效传递。
2. **隔离真空和常规环境**：通过密封设计，能够在真空环境下工作，避免外界环境对设备的影响，保护信号传输的稳定性。
3. **低损耗**：设计优化以减少信号在传输过程中的损耗，确保信号的质量。
4. **相位稳定性**：在不同温度和真空条件下，保持信号的相位稳定性。
5. **适应性**：可以和不同类型的同轴电缆和连接器兼容，适应多种不同的应用场合。
6. **性能**：能在率下正常工作，通常用于、通讯、测试设备等设备中。
同轴真空馈通件广泛应用于科学实验、微波技术、卫星通讯、粒子加速器等领域，能够满足信号在特殊环境下的传输需求。
探针台（Probe Station）是一种用于半导体和微电子测试的设备，主要用于在实验室环境中对芯片或材料进行电学性能测试。它的主要功能包括：
1. **电气测试**：探针台配备有探针，可以直接接触到芯片上的电气接点，进行电性能测试，比如电流、电压、阻抗等。
2. **温度控制**：许多探针台具有温度控制功能，可以在高温或低温下进行测试，以评估材料或器件在不同温度下的特性。
3. **真空环境**：某些探针台可以在真空环境下操作，以减少空气对测试结果的影响，尤其是在某些敏感实验中。
4. **图像捕捉与分析**：探针台通常配备有显微镜，可以对芯片进行观察，帮助技术人员准确定位探针和分析测试结果。
5. **自动化测试**：一些探针台能够与计算机系统配合，实现自动化操作和数据采集，提高测试效率和准确性。
6. **多功能扩展**：探针台可以与其他设备（如信号发生器、示波器等）联动，进行更复杂的电气测试和分析。
探针台广泛应用于半导体制造、材料科学、电子工程等领域，是研究和开发新型电子元件的重要工具。
探针夹具主要用于电子元件测试和测量，其适用范围包括：
1. **半导体测试**：用于芯片、集成电路(IC)等电子元器件的电气特性测试。
2. **电路板测试**：适用于PCB(印刷电路板)的测试，能够帮助检测PCB上的连接和功能。
3. **研发和实验**：在电子产品的研发阶段，探针夹具可以用于快速原型测试和实验验证。
4. **质量控制**：在生产过程中，探针夹具可用于自动化测试以确保产品质量。
5. **维修与故障排查**：在维修过程中，探针夹具可以用来快速测试疑似故障的元器件。
探针夹具的灵活性和性使其成为电子行业广泛使用的重要工具。
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