真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
热蒸发镀膜机是一种广泛应用于材料科学、电子、光学等领域的设备,主要用于在基材上沉积薄膜。其工作原理是通过加热源将固态材料加热至蒸发状态,蒸发的材料在真空环境中沉积在基材表面形成薄膜。下面是一些热蒸发镀膜机的关键要素:
1. **操作原理**:热蒸发镀膜机通过高温加热使材料蒸发,蒸汽冷凝在冷却的基材上,形成所需的薄膜。
2. **真空环境**:通常在真空腔内进行,以避免蒸发材料与空气中分子发生碰撞,影响薄膜质量。
3. **材料**:可用于铝、银、金等金属以及某些绝缘材料,如氧化物、氮化物等。
4. **应用领域**:
- **光学膜**:如反射镜、滤光片等。
- **电子器件**:如集成电路、传感器等的金属连接。
- **防腐保护膜**:提升材料的耐久性。
5. **优点**:
- 设备相对简单,易于操作。
- 可以获得均匀且致密的薄膜。
- 适合大面积沉积。
6. **缺点**:
- 适用于蒸发材料的种类有限。
- 薄膜厚度控制需较高精度。
在选择热蒸发镀膜机时,需要根据具体的应用需求考虑其性能参数,如真空度、加热方式、沉积速率和膜厚均匀性等。
蒸发舟(或称为蒸发小舟)在化学和材料科学中主要用于薄膜的制备和物质的蒸发沉积。它的基本功能包括:
1. **材料蒸发**:蒸发舟可以将固态材料加热到其蒸发温度,使其转变为气态,通过真空或惰性气体环境将蒸发出的颗粒沉积在基材上。
2. **薄膜沉积**:通过控制蒸发过程可以在基材上形成均匀、薄的薄膜,这对于制作电子器件、光学涂层等重要。
3. **材料选择性**:蒸发舟可以用于多种材料(如金属、氧化物、聚合物等)的蒸发,适应不同的应用需求。
4. **控制**:通过调整加热功率和蒸发时间,可以控制沉积的厚度和质量。
5. **提高纯度**:在真空环境中蒸发,可以减少杂质及氧化反应,得到较高纯度的沉积材料。
6. **应用广泛**:蒸发舟被广泛应用于半导体制造、光学器件、太阳能电池、传感器等领域。
通过这些功能,蒸发舟在材料的制备和研究中起到了关键的作用。

热蒸发镀膜机是一种常用于薄膜沉积的设备,其主要特点包括:
1. **高纯度镀膜**:由于采用高温加热源,能有效蒸发材料,沉积出的薄膜通常具有较高的纯度。
2. **良好的均匀性**:通过合理设计源与基片之间的距离,可以实现较均匀的膜层厚度。
3. **适用范围广**:可以用于多种材料的沉积,包括金属、半导体及一些绝缘材料。
4. **沉积速率可调**:通过调节加热温度和蒸发源的功率,可以实现不同沉积速率,满足不同应用需求。
5. **操作简便**:热蒸发镀膜机的操作相对简单,适合实验室及工业生产使用。
6. **适配性强**:可以与其他设备如真空系统、光学测厚仪等配合,提升沉积效果和膜层质量。
7. **成本效益高**:相较于其他镀膜技术,热蒸发镀膜机的设备投资和运行成本通常较低。
8. **膜层控制能力强**:可以通过调整蒸发时间和材料供应来实现膜厚的控制。
总的来说,热蒸发镀膜机以其优良的膜层质量和较为简单的操作,在科研和工业应用中广泛使用。

电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备,主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括:
1. **能**:电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上,适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**:该设备通常配备精密的电流和温度控制系统,可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率,从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**:电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料,包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**:为了提高沉积质量,电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行,减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**:相较于其他蒸镀技术,电阻蒸镀机的操作相对简单,易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**:通过控制同时蒸发不同材料,电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积,适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****:相较于其他一些物相沉积技术,电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**:电阻蒸镀过程中产生的废物较少,对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。

束源炉是一种特殊类型的核反应堆,主要用于研究和医学应用。它的特点包括:
1. **中子源**:束源炉能够产生大量的中子,这些中子可用于材料研究、核检测、医学成像及等领域。
2. **小型化**:与传统的核反应堆相比,束源炉通常较小,设计上更为紧凑,适合于实验室或等场所。
3. **低功率运行**:束源炉的运行功率相对较低,一般在几千瓦到几兆瓦之间,适合用于中子辐照实验。
4. **安全性**:由于功率较低,束源炉的设计通常具有更高的安全性,反应堆的重要系统和结构更易于控制。
5. **多用途**:除了用于基础科学研究外,束源炉还可用于材料分析、核医学以及教育等多个领域,显示出其多功能性。
6. **易于安装与维护**:束源炉一般设计得更加便捷,方便安装和日常维护。
7. **放射性废物处理**:由于其低功率的特性,所产生的放射性废物相对较少,处理相对简单。
这些特点使得束源炉在研究和应用中发挥了重要的作用。
热蒸发镀膜机是一种广泛应用于薄膜沉积的设备,适用于多种领域和材料。其适用范围主要包括:
1. **光学器件**:用于生产光学薄膜,如抗反射膜、镀膜镜头等。
2. **电子元件**:在半导体、光电子、太阳能电池等领域沉积金属和绝缘层。
3. **装饰性涂层**:用于金属、玻璃、塑料等表面的装饰镀膜,以提升美观和耐腐蚀性。
4. **传感器**:在传感器制造过程中用于沉积薄膜,以实现特定的电学、光学或化学特性。
5. **硬质涂层**:用于工具、模具等表面的硬化处理,提高耐磨性和使用寿命。
6. **器械**:在某些器械中应用特殊薄膜以增强生物相容性或防污染。
7. **照明设备**:用于LED、激光器等照明设备中的薄膜沉积。
总之,热蒸发镀膜机因其操作简单、沉积速度快以及适应不同材料的能力,成为许多行业中的制造设备。
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