真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于光学、电子、材料科学等领域。其基本原理是通过加热材料,使其蒸发成气态,然后在基底表面凝结形成薄膜。热蒸发镀膜机通常由以下几个主要部分组成:
1. **真空腔体**:提供低压环境,以减少气体分子对蒸发材料和沉积薄膜的干扰。
2. **加热源**:通常使用电阻加热丝或电子束加热来加热蒸发材料,达到其蒸发温度。
3. **蒸发源**:放置待蒸发材料的容器,可以是铸坯、靶材等。
4. **基底夹持系统**:用于固定和加热待涂覆的基底,一般位于蒸发源的上方。
5. **监控系统**:用于监测沉积速度和膜厚,常用的技术有石英晶体振荡器或光学膜厚测量。
6. **冷却系统**:在一些情况下,可能需要冷却基底以改善膜的品质。
热蒸发镀膜机的优点包括沉积速度快、膜层均匀、膜的纯度高等,但也有局限性,如膜的附着力和应力问题。
在选购和使用热蒸发镀膜机时,需要根据具体的应用需求,例如膜材料、沉积速率、膜厚度及基底材料等制定相应的方案。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备,主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括:
1. **能**:电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上,适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**:该设备通常配备精密的电流和温度控制系统,可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率,从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**:电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料,包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**:为了提高沉积质量,电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行,减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**:相较于其他蒸镀技术,电阻蒸镀机的操作相对简单,易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**:通过控制同时蒸发不同材料,电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积,适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****:相较于其他一些物相沉积技术,电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**:电阻蒸镀过程中产生的废物较少,对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。

手套箱一体机是一种集成多种功能于一体的设备,主要用于提供无尘、无污染的环境,以便在严格控制条件下进行实验或操作。其特点包括:
1. **封闭环境**:手套箱一体机通常是密封的,可以有效防止外界空气和污染物进入,适合处理敏感材料或化学物质。
2. **手套操作**:设备配备有手套,操作人员可以在箱内安全地处理物品,无需直接接触。
3. **气氛控制**:许多手套箱一体机可以调节内部气氛,例如控制氧气、湿度、温度等,以适应不同实验的需求。
4. **集成化设计**:设备通常将多种功能集成在一起,可能包括净化系统、气体监测、温控系统等,提供一体化的解决方案。
5. **高安全性**:手套箱一体机设计上考虑了操作安全,通常具备泄压、报警等安全机制,以应对潜在的危险。
6. **灵活性**:可以根据实验需求进行定制,适应不同类型的实验和操作。
7. **易于清洁维护**:设备表面一般采用光滑、耐腐蚀材料,方便清洁和维护。
8. **可视化系统**:一些手套箱一体机配备有观察窗口或摄像系统,使操作人员可以监控内部情况,确保实验顺利进行。
这些特点使手套箱一体机在材料科学、化学研究、生物实验等领域广泛应用。

桌面型热蒸发镀膜仪是一种常用的薄膜沉积设备,具有以下几个显著特点:
1. **紧凑设计**:桌面型热蒸发镀膜仪通常体积较小,适合在实验室或小型生产环境中使用,便于放置和操作。
2. **蒸发**:利用热源加热蒸发材料,使其蒸发并沉积在基底上,能够实现的薄膜沉积。
3. **材料多样性**:可以使用多种类型的蒸发材料,如金属、氧化物等,适应不同的应用需求。
4. **真空系统**:一般配备有真空泵,能够在相对较低的压力下工作,提高膜层的纯度和均匀性。
5. **易于控制**:搭载有控制系统,能调节蒸发速率和沉积厚度,方便用户根据实验要求进行参数设置。
6. **适应性强**:可用于不同尺寸和形状的基底,如平片、胶卷等,满足不同实验或生产需求。
7. **品质监测**:一些型号可能配备有膜厚监测系统,实时监控沉积过程,确保膜厚的一致性。
8. **维护简单**:相对而言,桌面型热蒸发镀膜仪的维护和操作相对简单,适合研究人员和技术人员使用。
总之,桌面型热蒸发镀膜仪以其灵活性、便捷性和性,在材料科学、光电器件制造及其他相关领域得到了广泛应用。

蒸发舟(或称为蒸发小舟)在化学和材料科学中主要用于薄膜的制备和物质的蒸发沉积。它的基本功能包括:
1. **材料蒸发**:蒸发舟可以将固态材料加热到其蒸发温度,使其转变为气态,通过真空或惰性气体环境将蒸发出的颗粒沉积在基材上。
2. **薄膜沉积**:通过控制蒸发过程可以在基材上形成均匀、薄的薄膜,这对于制作电子器件、光学涂层等重要。
3. **材料选择性**:蒸发舟可以用于多种材料(如金属、氧化物、聚合物等)的蒸发,适应不同的应用需求。
4. **控制**:通过调整加热功率和蒸发时间,可以控制沉积的厚度和质量。
5. **提高纯度**:在真空环境中蒸发,可以减少杂质及氧化反应,得到较高纯度的沉积材料。
6. **应用广泛**:蒸发舟被广泛应用于半导体制造、光学器件、太阳能电池、传感器等领域。
通过这些功能,蒸发舟在材料的制备和研究中起到了关键的作用。
蒸发舟(或称蒸发皿)是一种用于化学实验和工业生产中的器具,主要用于蒸发溶剂和浓缩溶液。蒸发舟蒸发颗粒适用范围一般包括:
1. **化学实验**:用于蒸发液体,浓缩溶液,分离化学物质。
2. **生物实验**:在生物样品处理中,常用于蒸发或浓缩生物样品中的溶剂。
3. **制药工业**:用于制备药物浓缩液,去除溶剂,生产药品原料。
4. **食品工业**:在浓缩果汁、调味品等生产中使用。
5. **材料科学**:用于涂层材料的制备,以及材料的合成过程。
6. **环境监测**:在水质分析中,用于浓缩水样中的污染物。
7. **纳米材料制备**:在纳米颗粒的制备过程中,常用于蒸发溶液形成固态颗粒。
在不同的应用中,根据具体需要选用合适材质和规格的蒸发舟,以确保实验的准确性和安全性。
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