真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
桌面型热蒸发镀膜仪是一种用于在材料表面沉积薄膜的设备,广泛应用于光电子、半导体、太阳能电池等领域。它的工作原理是通过加热金属或其他材料,使其蒸发并在待镀膜的基材表面沉积形成薄膜。
### 主要特点:
1. **紧凑设计**:相较于大型镀膜设备,桌面型热蒸发镀膜仪体积小,适合实验室和小规模生产使用。
2. **易于操作**:通常配备用户友好的操作界面,便于研究人员和技术人员使用。
3. **温度控制**:具备的温度控制系统,可以根据不同材料的特性调整加热温度,以实现蒸发效果。
4. **真空环境**:镀膜过程一般在真空环境中进行,以减少气体对蒸发材料的干扰,提高薄膜质量。
5. **薄膜厚度监测**:一些仪器配有实时监测薄膜厚度的功能,确保镀膜过程的控制。
6. **广泛应用**:适用于金属、合金、氧化物等多种材料的镀膜,能够满足不同领域的需求。
### 适用领域:
- **光学镀膜**:用于制造反射镜、抗反射涂层等光学元件。
- **微电子**:用于集成电路、传感器等微电子元件的制造。
- **太阳能**:用于光伏材料的制备,提高太阳能电池的效率。
### 注意事项:
- **物料选择**:不同材料的蒸发温度和特性不同,需根据实际需求选择合适的材料。
- **真空度控制**:保证设备在运行期间的真空度,以提高薄膜质量。
- **安全防护**:高温和真空环境下操作时,需注意安全防护,避免或其他意外。
总之,桌面型热蒸发镀膜仪是一种、便捷的薄膜沉积设备,适合科研和小规模生产的需求。
束源炉(或称束流反应堆)是一种利用粒子束产生高能粒子的设备,主要用于研究和应用于核物理、材料科学、医学等领域。其主要功能包括:
1. **粒子加速**:束源炉能够加速粒子到高能状态,为后续的实验提供足够的能量。
2. **粒子束应用**:通过产生高能粒子束,束源炉可以用于材料的改性、诊断以及产生放射性同位素。
3. **核反应研究**:支持核物理研究,例如基本粒子的相互作用、核结构和反应机制等。
4. **医学应用**:在放射和核医学中用于产生适用于的放射性同位素。
5. **探测**:用于开发和测试探测器及相关技术。
总结来说,束源炉是在科学研究和工业应用中重要的工具,具有多种功能。

小型热蒸发镀膜机是一种用于薄膜沉积的设备,广泛应用于光学、电子、材料科学等领域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉积**:能够在基材表面沉积金属、氧化物、氮化物等材料,以形成薄膜。
2. **控制膜厚**:通过调节蒸发时间和速率,可以控制薄膜的厚度,满足不同应用的需要。
3. **高真空环境**:通常配备真空系统,能够在高真空条件下进行蒸发,有效减少气体分子对薄膜的影响,提高膜层质量。
4. **多种材料兼容**:支持多种蒸发材料的使用,包括铝、银、金、硅等,适应不同的应用需求。
5. **均匀沉积**:通过合理设计蒸发源的布局,实现薄膜在基材上的均匀沉积。
6. **小型化设计**:体积小、重量轻,适合实验室、小规模生产等场合,便于搬运和操作。
7. **自动化控制**:一些设备配备了计算机控制系统,可以实现自动化操作,提率和重复性。
8. **多种基材兼容**:能够处理不同材料和形状的基材,如玻璃、塑料、陶瓷等。
总之,小型热蒸发镀膜机是一种 versatile 的设备,适用于科学研究和工业应用中的薄膜制备。

蒸发舟(或称为蒸发小舟)在化学和材料科学中主要用于薄膜的制备和物质的蒸发沉积。它的基本功能包括:
1. **材料蒸发**:蒸发舟可以将固态材料加热到其蒸发温度,使其转变为气态,通过真空或惰性气体环境将蒸发出的颗粒沉积在基材上。
2. **薄膜沉积**:通过控制蒸发过程可以在基材上形成均匀、薄的薄膜,这对于制作电子器件、光学涂层等重要。
3. **材料选择性**:蒸发舟可以用于多种材料(如金属、氧化物、聚合物等)的蒸发,适应不同的应用需求。
4. **控制**:通过调整加热功率和蒸发时间,可以控制沉积的厚度和质量。
5. **提高纯度**:在真空环境中蒸发,可以减少杂质及氧化反应,得到较高纯度的沉积材料。
6. **应用广泛**:蒸发舟被广泛应用于半导体制造、光学器件、太阳能电池、传感器等领域。
通过这些功能,蒸发舟在材料的制备和研究中起到了关键的作用。

电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备,主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括:
1. **能**:电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上,适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**:该设备通常配备精密的电流和温度控制系统,可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率,从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**:电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料,包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**:为了提高沉积质量,电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行,减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**:相较于其他蒸镀技术,电阻蒸镀机的操作相对简单,易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**:通过控制同时蒸发不同材料,电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积,适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****:相较于其他一些物相沉积技术,电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**:电阻蒸镀过程中产生的废物较少,对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。
电阻蒸镀机是一种用于材料蒸发沉积的设备,广泛应用于领域。其适用范围包括但不限于以下几个方面:
1. **半导体行业**:用于制造集成电路、传感器等器件的金属电极和薄膜。
2. **光电设备**:在太阳能电池、显示器(如LCD和OLED)及光伏组件的制造中,用于沉积导电薄膜和反射膜。
3. **光学涂层**:用于光学器件如镜头、滤光片等的反射或抗反射 coating。
4. **包装材料**:在某些特殊包装材料中,电阻蒸镀可用于增强气密性或加涂保护层。
5. **饰品与工艺品**:在珠宝、手表等消费品的表面处理上,提供金属镀层以增加美观及耐腐蚀性。
6. **管道与设备**:在某些工业应用中,用于管道或设备表面的金属涂层。
总的来说,电阻蒸镀机因其高精度、高均匀性和良好的附着力,广泛应用于需要精细金属沉积的各个行业。
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