真空腔室Ф246×260mm,304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源(兼容金属与有机蒸发)3组,可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台,供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm,电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm,具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
热蒸发镀膜机是一种广泛应用于材料科学、电子、光学等领域的设备,主要用于在基材上沉积薄膜。其工作原理是通过加热源将固态材料加热至蒸发状态,蒸发的材料在真空环境中沉积在基材表面形成薄膜。下面是一些热蒸发镀膜机的关键要素:
1. **操作原理**:热蒸发镀膜机通过高温加热使材料蒸发,蒸汽冷凝在冷却的基材上,形成所需的薄膜。
2. **真空环境**:通常在真空腔内进行,以避免蒸发材料与空气中分子发生碰撞,影响薄膜质量。
3. **材料**:可用于铝、银、金等金属以及某些绝缘材料,如氧化物、氮化物等。
4. **应用领域**:
- **光学膜**:如反射镜、滤光片等。
- **电子器件**:如集成电路、传感器等的金属连接。
- **防腐保护膜**:提升材料的耐久性。
5. **优点**:
- 设备相对简单,易于操作。
- 可以获得均匀且致密的薄膜。
- 适合大面积沉积。
6. **缺点**:
- 适用于蒸发材料的种类有限。
- 薄膜厚度控制需较高精度。
在选择热蒸发镀膜机时,需要根据具体的应用需求考虑其性能参数,如真空度、加热方式、沉积速率和膜厚均匀性等。
蒸发舟是一种常用于材料科学和薄膜制备的设备,特别是在物相沉积(PVD)技术中。蒸发舟的主要作用是通过加热将固态材料转化为气态,以实现薄膜的沉积。蒸发舟蒸发颗粒的特点主要包括以下几个方面:
1. **均匀性**:蒸发过程中,颗粒的蒸发速率较为均匀,能够在基底上形成均匀的薄膜。
2. **可控性**:通过调节加热温度和加热时间,可以控制蒸发速率,从而调节薄膜的厚度和组成。
3. **材料兼容性**:蒸发舟可以用于多种不同材料的蒸发,如金属、氧化物和高分子材料等,适应性较强。
4. **颗粒尺寸**:蒸发颗粒的尺寸通常较小,有助于加快蒸发速度,提升薄膜的沉积效率。
5. **高纯度**:蒸发舟中使用的材料一般要求高纯度,以确保终薄膜的性能和质量。
6. **热稳定性**:蒸发舟本身需要具备良好的热稳定性,以承受高温而不发生变形或熔化。
7. **气氛控制**:蒸发实验通常在真空或特定气氛中进行,以避免反应杂质的影响,确保颗粒的质量。
这些特点使得蒸发舟在真空蒸发和其他沉积技术中得到了广泛应用。

束源炉是一种特殊类型的核反应堆,主要用于研究和医学应用。它的特点包括:
1. **中子源**:束源炉能够产生大量的中子,这些中子可用于材料研究、核检测、医学成像及等领域。
2. **小型化**:与传统的核反应堆相比,束源炉通常较小,设计上更为紧凑,适合于实验室或等场所。
3. **低功率运行**:束源炉的运行功率相对较低,一般在几千瓦到几兆瓦之间,适合用于中子辐照实验。
4. **安全性**:由于功率较低,束源炉的设计通常具有更高的安全性,反应堆的重要系统和结构更易于控制。
5. **多用途**:除了用于基础科学研究外,束源炉还可用于材料分析、核医学以及教育等多个领域,显示出其多功能性。
6. **易于安装与维护**:束源炉一般设计得更加便捷,方便安装和日常维护。
7. **放射性废物处理**:由于其低功率的特性,所产生的放射性废物相对较少,处理相对简单。
这些特点使得束源炉在研究和应用中发挥了重要的作用。

有机蒸发镀膜机是一种用于薄膜材料的沉积设备,主要应用于电子、光电、光学等领域。其功能主要包括:
1. **薄膜沉积**:通过加热有机材料,使其蒸发并沉积在基板表面,形成均匀的薄膜。
2. **控制膜厚**:可以控制沉积的膜厚度,以满足应用需求。
3. **大面积涂层**:适用于大尺寸基板的涂层工艺,满足工业生产需求。
4. **高真空环境**:在高真空条件下进行镀膜,减少杂质,提升膜层质量。
5. **材料适应性**:可用于多种有机材料的镀膜,如聚合物、染料、液晶等。
6. **多层膜结构**:能够实现多层膜的沉积,适用于复杂结构的器件。
7. **智能控制**:现代设备通常配备的控制系统,可以自动调节参数,提升生产效率和膜的均匀性。
通过以上功能,有机蒸发镀膜机在太阳能电池、显示器、传感器等领域发挥着重要作用。

电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备,主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括:
1. **能**:电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上,适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**:该设备通常配备精密的电流和温度控制系统,可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率,从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**:电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料,包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**:为了提高沉积质量,电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行,减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**:相较于其他蒸镀技术,电阻蒸镀机的操作相对简单,易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**:通过控制同时蒸发不同材料,电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积,适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****:相较于其他一些物相沉积技术,电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**:电阻蒸镀过程中产生的废物较少,对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。
束源炉(也称为束流炉或束流反应堆)是一种利用加速器产生的粒子束进行核反应的设备。它主要用于以下几个领域:
1. **基础科学研究**:束源炉可用于粒子物理学和核物理学的基础研究,探索粒子的基本性质和相互作用。
2. **材料科学**:束源炉可以用于开发和测试新材料,尤其是在极端条件下(如高温、高压)下的材料性能。
3. **应用**:束源炉在医学成像、(如质子)等领域具有重要应用。
4. **核废料处理**:束源炉可以用于研究和开发核废料处置和转化技术,降低其长期放射性。
5. **新型能源开发**:在聚变能源研究中,束源炉也被应用于研究高温等离子体的行为,以探索可持续的能源解决方案。
束源炉的适用范围不断拓展,随着技术进步和研究的发展,可能会有新的应用领域出现。
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