真空腔室Ф246×260mm，304优质不锈钢
分子泵国产FF-63/80分子泵
前级泵机械泵
真空规全量程真空规
蒸发源电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用
蒸发电源2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用
控制系统PLC+触摸屏智能控制系统1套
冷水机LX-300
膜厚仪FTM-107A单探头
前级阀GDC-25b电磁挡板阀1套
充气阀Φ6mm，电磁截止阀1套
基片台可拆卸式60×60mm，具备水冷、旋转功能
真空管路波纹管、真空管道等1套
设备机架机电一体化
预留接口CF35一个
辅件备件CF35铜垫圈及氟密封圈全套等
有机蒸发镀膜机是一种用于在基材上沉积有机薄膜材料的设备。这种设备广泛应用于电子、光电、光学、柔性显示器等领域。其工作原理通常包括以下几个步骤：
1. **材料蒸发**：将有机材料加热至其蒸发温度，使其从固态或液态转变为气态。
2. **气体扩散**：蒸发产生的有机蒸气通过真空腔扩散到基材表面。
3. **薄膜沉积**：有机蒸气在基材表面冷凝并沉积形成薄膜。该过程中的温度、压力、基材的运动等都会影响沉积的薄膜质量和厚度。
4. **控制系统**：现代有机蒸发镀膜机通常配备的控制系统，可以控制温度、真空度、沉积速率等参数，以确保薄膜的均匀性和一致性。
有机蒸发镀膜的优势包括能够制备的有机薄膜，适用于形状和材质的基材，同时也适合于大面积涂覆。但是，由于有机材料的特点，其在处理和存储方面需要特别注意，以防止氧化和降解。
电阻蒸镀机是一种广泛应用于薄膜沉积技术的设备，主要用于在基材表面沉积金属或其他材料。其主要特点包括：
1. **能**：电阻蒸镀机能够快速有效地将材料蒸发并沉积到基材上，适合大规模生产和连续作业。
2. **控制精度高**：该设备通常配备精密的电流和温度控制系统，可以准确调节蒸发过程中材料的蒸发速率，从而实现均匀的薄膜厚度。
3. **材料适应性强**：电阻蒸镀机可以使用多种金属和合金材料，包括铝、铜、银、金等。
4. **真空环境**：为了提高沉积质量，电阻蒸镀过程通常在真空环境下进行，减少了氧化和污染的风险。
5. **简便的操作**：相较于其他蒸镀技术，电阻蒸镀机的操作相对简单，易于实现自动化。
6. **可实现多层沉积**：通过控制同时蒸发不同材料，电阻蒸镀机可以实现多层膜的沉积，适用于复杂的光电器件和微电子器件的制造。
7. ****：相较于其他一些物相沉积技术，电阻蒸镀机的设备和运行成本较低。
8. **环保性**：电阻蒸镀过程中产生的废物较少，对环境的影响相对较小。
这些特点使电阻蒸镀机在半导体、光电材料、光学涂层等领域获得了广泛应用。
热蒸发镀膜机是一种常用于薄膜沉积的设备，其主要特点包括：
1. **高纯度镀膜**：由于采用高温加热源，能有效蒸发材料，沉积出的薄膜通常具有较高的纯度。
2. **良好的均匀性**：通过合理设计源与基片之间的距离，可以实现较均匀的膜层厚度。
3. **适用范围广**：可以用于多种材料的沉积，包括金属、半导体及一些绝缘材料。
4. **沉积速率可调**：通过调节加热温度和蒸发源的功率，可以实现不同沉积速率，满足不同应用需求。
5. **操作简便**：热蒸发镀膜机的操作相对简单，适合实验室及工业生产使用。
6. **适配性强**：可以与其他设备如真空系统、光学测厚仪等配合，提升沉积效果和膜层质量。
7. **成本效益高**：相较于其他镀膜技术，热蒸发镀膜机的设备投资和运行成本通常较低。
8. **膜层控制能力强**：可以通过调整蒸发时间和材料供应来实现膜厚的控制。
总的来说，热蒸发镀膜机以其优良的膜层质量和较为简单的操作，在科研和工业应用中广泛使用。
手套箱一体机是一种集成多种功能于一体的设备，主要用于提供无尘、无污染的环境，以便在严格控制条件下进行实验或操作。其特点包括：
1. **封闭环境**：手套箱一体机通常是密封的，可以有效防止外界空气和污染物进入，适合处理敏感材料或化学物质。
2. **手套操作**：设备配备有手套，操作人员可以在箱内安全地处理物品，无需直接接触。
3. **气氛控制**：许多手套箱一体机可以调节内部气氛，例如控制氧气、湿度、温度等，以适应不同实验的需求。
4. **集成化设计**：设备通常将多种功能集成在一起，可能包括净化系统、气体监测、温控系统等，提供一体化的解决方案。
5. **高安全性**：手套箱一体机设计上考虑了操作安全，通常具备泄压、报警等安全机制，以应对潜在的危险。
6. **灵活性**：可以根据实验需求进行定制，适应不同类型的实验和操作。
7. **易于清洁维护**：设备表面一般采用光滑、耐腐蚀材料，方便清洁和维护。
8. **可视化系统**：一些手套箱一体机配备有观察窗口或摄像系统，使操作人员可以监控内部情况，确保实验顺利进行。
这些特点使手套箱一体机在材料科学、化学研究、生物实验等领域广泛应用。
手套箱一体机是一种结合了手套箱和其他实验设备的综合性实验装置，主要用于处理在惰性气氛（如氮气、氦气等）下进行的实验或操作。其功能通常包括：
1. **惰性气体保护**：手套箱内可以充入惰性气体，避免实验材料与空气中的水分和氧气反应，保护样品的纯净性。
2. **手套操作**：设备通常配有手套，可以在不暴露于外部环境的情况下进行实验操作，如取样、装置组装等。
3. **样品存储**：手套箱内部可以用于存放敏感材料和试剂，确保其不受外界污染。
4. **气体监控**：一些手套箱一体机配备气体监控系统，可以实时监测箱内环境，确保气体浓度和成分的稳定。
5. **温度和湿度控制**：可以调节和控制箱内的温度和湿度，为实验提供理想环境。
6. **接口扩展**：某些手套箱一体机设计有多种接口，可以与其他实验设备联动，如真空泵、反应釜等。
7. **数据记录与控制**：部分设备能够连接计算机或其他控制系统，实现数据记录和实验过程的自动化监控。
手套箱一体机广泛应用于材料科学、化学反应、制药、生物实验等领域，尤其在对氧敏感或湿敏性的材料处理上具有重要意义。
热蒸发镀膜机是一种广泛应用于薄膜沉积的设备，适用于多种领域和材料。其适用范围主要包括：
1. **光学器件**：用于生产光学薄膜，如抗反射膜、镀膜镜头等。
2. **电子元件**：在半导体、光电子、太阳能电池等领域沉积金属和绝缘层。
3. **装饰性涂层**：用于金属、玻璃、塑料等表面的装饰镀膜，以提升美观和耐腐蚀性。
4. **传感器**：在传感器制造过程中用于沉积薄膜，以实现特定的电学、光学或化学特性。
5. **硬质涂层**：用于工具、模具等表面的硬化处理，提高耐磨性和使用寿命。
6. **器械**：在某些器械中应用特殊薄膜以增强生物相容性或防污染。
7. **照明设备**：用于LED、激光器等照明设备中的薄膜沉积。
总之，热蒸发镀膜机因其操作简单、沉积速度快以及适应不同材料的能力，成为许多行业中的制造设备。
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