温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min，升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮（泵控制）
探针数量4（可增加）
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质，35*35mm（以实际尺寸为准）
冷热台尺寸160*150*29mm（以实际尺寸为准）
实验环境可抽真空，可充入保护气氛（氮气），配水冷接口
真空探针台是一种用于微电子器件测试和特性分析的设备，广泛应用于半导体研究和研发领域。它的主要功能是将探针对准被测试样品，同时在真空环境下进行的电气测试。
真空探针台的工作原理是通过在高真空状态下，将探针与芯片或其他样品直接接触，以测量其电气特性。在真空环境中，能够减少空气干扰，降低氧化和污染的风险，从而提供更准确和重复的测试结果。
主要用途包括：
1. **半导体器件的特性测试**：如 MOSFET、二极管等。
2. **材料研究**：在材料科学中，对特定材料的电性和热性进行研究。
3. **微纳米技术的研发**：在 MEMS（微电机械系统）和纳米尺度器件的开发和测试中。
真空探针台通常配备高精度的定位系统，以确保探针能够准确地对准待测样品，此外，有些设备还可与其他测试仪器（如示波器、源测量单元等）集成，以实现更复杂的测试需求。
真空探针台是一种用于微电子器件测试与研究的精密仪器，其主要功能包括：
1. **电学测试**：能够对半导体器件进行电性能测试，如IV（电流-电压）特性测试、CV（电容-电压）特性测试等。
2. **高真空环境**：提供高真空或真空环境，减少气体分子对测试结果的干扰，特别是在处理空气敏感材料或量子特性研究时尤为重要。
3. **微观定位**：由于其高精度的定位功能，能够对微小结构进行接触和扫描，适用于纳米尺度设备的测试。
4. **冷热测试**：部分真空探针台配备温控系统，可以在低温或高温条件下进行测试，以研究材料和器件在不同温度下的特性。
5. **材料表征**：能够对薄膜、纳米材料等进行表征，分析其电学性质、表面状态等。
6. **集成化测试**：可以与其他仪器（如扫描电子显微镜、原子力显微镜等）联用，进行更深入的材料或器件分析。
总之，真空探针台是半导体研究、材料科学等领域中的重要设备。
微型高低温真空探针台是一种用于电子材料和器件测试的精密仪器，具备以下几个主要特点：
1. **高低温测试能力**：能够在极低温（如液氮温度）到高温（如400°C以上）范围内进行测试，适用于不同温度环境下的材料性能研究。
2. **真空环境**：探针台设计用于在高真空条件下操作，减少氧化和污染，确保测试结果的准确性和重复性。
3. **高精度探测**：配备高精度的探针和测量系统，能够准确获取微小电流、电压等信号，适用于微小尺度器件的电测量。
4. **微型化设计**：体积小巧，便于在有限空间内进行操作，适合于微电子器件、纳米材料等研究。
5. **灵活的样品装配**：通常具有友好的样品夹具设计，便于不同类型和尺寸的样品装配和更换。
6. **多功能性**：可能支持多种测试模式，如直流测试、交流测试、霍尔效应测试等，适用范围广。
7. **易于连接**：可与其他测试设备（如示波器、信号发生器等）快速连接，便于进行综合测试。
总之，微型高低温真空探针台在材料科学、半导体研究和纳米技术等领域中具有重要的应用价值。
探针夹具是一种用于电子测量和测试的工具，广泛应用于半导体行业、电子元件测试和电路板维修等领域。它的主要特点包括：
1. **性**：探针夹具能够以极高的精度对接触点施加压力，以确保可靠的电气接触，从而提高测试数据的准确性。
2. **多功能性**：不同类型的探针夹具可以适配测试需求，包括不同类型的探针和接触方式，满足不同的测试标准。
3. **可靠性**：的设计和材料选择使得探针夹具在多次使用中保持稳定的性能，降低故障率，提高测试的可靠性。
4. **灵活性**：探针夹具通常具有可调节的结构，可以适应不同尺寸和形状的被测物体，增强了使用的灵活性。
5. **易于操作**：设计时考虑到人机工程学，使得操作者能够方便地进行装配、调节和操作，减少了使用时的复杂性。
6. **兼容性**：探针夹具可以与多种测试设备（如示波器、万用表等）兼容使用，提升测试系统的集成度。
7. **耐用性**：量的材料和精密的制造工艺确保了探针夹具的耐用性，在率使用的环境下仍能保持良好的性能。
8. **热稳定性**：一些探针夹具设计考虑到了热膨胀的影响，保证在温度变化下仍能提供稳定的测试性能。
总之，探针夹具在电子测试和测量中扮演着重要角色，通过其优良的设计和性能特征，能够显著提高测试效率和可靠性。
探针台卡盘（Probing Station Chuck）在半导体测试和研究中具有重要功能。它的主要功能包括：
1. **样品固定**：探针台卡盘能够稳固地固定待测试的半导体芯片或其他样本，确保在测试过程中样品不发生移动。
2. **定位**：通过高精度的微调机制，卡盘可以实现样品的定位，以便于探针与样品上的特定点进行接触。
3. **温度控制**：一些的探针台卡盘配备了温度控制功能，可以在不同的温度条件下进行测试，以研究温度对电性能的影响。
4. **电气连接**：卡盘通常与探针阵列一起工作，通过探针与样品接触，实现电气信号的传输，允许测试电性能参数。
5. **兼容性**：探针台卡盘设计通常具有良好的兼容性，可以与不同类型和尺寸的样本以及探针头配合使用。
6. **环境控制**：一些探针台卡盘具备气氛控制功能，可以在特定气氛（如氮气或真空环境）中进行测试，以降低氧化和其他环境影响。
总的来说，探针台卡盘在半导体研发和制造过程中扮演着至关重要的角色，它不仅提高了测试的性，还为研究提供了的实验条件。
微型高低温真空探针台主要用于材料科学、半导体器件、纳米技术等领域的研究和测试，其适用范围包括但不限于以下几个方面：
1. **半导体器件测试**：用于测量半导体材料和器件在高低温环境下的电学性质。
2. **材料分析**：能够分析不同材料在极端温度和真空条件下的性能变化，例如导电性、热导性等。
3. **纳米材料研究**：用于研究纳米材料在不同温度和环境下的行为，适合纳米电子学研究。
4. **物理和化学实验**：在物理和化学实验中，对样品进行高低温和真空下的测试和观察。
5. **生物材料测试**：能够测试生物材料在极端环境下的稳定性和性能变化。
6. **仪器研发**：在新型仪器和设备研发过程中，对材料的性能进行高低温测试。
综上所述，微型高低温真空探针台是一种多功能的实验设备，适用于多种研究领域，特别是在要求控制温度和气氛条件的实验中显得尤为重要。
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