温度范围零下180~550℃
变温速度0~10℃/min,升降温线性可控
温度分辨率及稳定性± 0.1℃
控温方式PID
温度传感器PT100
温度传感器数量2
致冷方式液氮(泵控制)
探针数量4(可增加)
探针材质紫铜镀金
测试通道4
载样台材质及尺寸银质,35*35mm(以实际尺寸为准)
冷热台尺寸160*150*29mm(以实际尺寸为准)
实验环境可抽真空,可充入保护气氛(氮气),配水冷接口
探针台卡盘(Prober Chuck)是一种用于半导体测试和研究的设备,主要应用于晶圆探针测试(wafer probing)过程中。其功能是将待测试的晶圆或芯片固定在稳定的位置,以便进行电气性能测试和测量。
探针台卡盘的设计通常考虑到以下几个方面:
1. **固定能力**:卡盘需要能够牢固固定不同尺寸和形状的晶圆,防止在测试过程中发生移动。
2. **热管理**:在测试过程中,卡盘可能会发热,因此其材料和设计需具备良好的热导性,以避免影响测试结果。
3. **平面度**:确保卡盘的表面平整,以便与探针对接,减少接触不良的可能性。
4. **兼容性**:许多卡盘都是设计为与探针台(prober)和测试设备兼容,便于集成使用。
5. **微调功能**:一些的探针台卡盘具备微调功能,可通过机械或电动方式微调晶圆的位置,以达到的探针接触效果。
探针台卡盘在集成电路(IC)制造、半导体器件测试以及材料科学研究等领域广泛应用。
微型高低温真空探针台是一种用于电子材料和器件测试的精密仪器,具备以下几个主要特点:
1. **高低温测试能力**:能够在极低温(如液氮温度)到高温(如400°C以上)范围内进行测试,适用于不同温度环境下的材料性能研究。
2. **真空环境**:探针台设计用于在高真空条件下操作,减少氧化和污染,确保测试结果的准确性和重复性。
3. **高精度探测**:配备高精度的探针和测量系统,能够准确获取微小电流、电压等信号,适用于微小尺度器件的电测量。
4. **微型化设计**:体积小巧,便于在有限空间内进行操作,适合于微电子器件、纳米材料等研究。
5. **灵活的样品装配**:通常具有友好的样品夹具设计,便于不同类型和尺寸的样品装配和更换。
6. **多功能性**:可能支持多种测试模式,如直流测试、交流测试、霍尔效应测试等,适用范围广。
7. **易于连接**:可与其他测试设备(如示波器、信号发生器等)快速连接,便于进行综合测试。
总之,微型高低温真空探针台在材料科学、半导体研究和纳米技术等领域中具有重要的应用价值。

探针台(Probe Station)是一种用于测试和分析微电子器件(如集成电路、传感器等)的设备。其主要特点包括:
1. **高精度定位**:探针台能够定位待测样品,通常配备精密机械手臂和高分辨率的光学显微镜。
2. **多样化探针**:探针台配备多种探针,可以用于不同类型的测试,如直流、交流或测试。
3. **温控能力**:许多探针台具备温度控制功能,可以在极低或极高的温度条件下进行测试,以模拟实际工作环境。
4. **可扩展性**:探针台通常可以与其他测试设备(如示波器、信号发生器)进行连接,实现更复杂的测试方案。
5. **软件控制**:现代探针台配备了计算机控制系统,可以通过软件进行操作,实时收集和分析测试数据。
6. **兼容性**:探针台可以处理多种尺寸和形状的样品,包括晶圆、芯片和其他微电子器件。
7. **环境监控**:一些探针台具有气候控制系统,可以在洁净室或受控环境中进行测试,确保测试结果的可靠性。
这些特点使得探针台在半导体开发、质量控制和研究等领域中扮演着重要角色。

高低温真空探针台是一种用于材料和半导体器件测试的精密设备,其特点包括:
1. **温度范围广**:能够在极低温(例如液氮温度)到高温(例如700℃以上)之间进行测试,适用于不同材料和器件的特性分析。
2. **真空环境**:提供高真空或真空环境,减少氧化和污染,提高测试数据的准确性和重复性。
3. **高精度探针**:配备高精度的探针,可以对微小区域进行测量,适用于微电子器件和纳米材料的测试。
4. **自动化设置**:许多高低温真空探针台配备自动化控制系统,可以实现温度和压力的准确控制,提高测试效率。
5. **多功能性**:支持多种测试方法,如电学测试、热学测试、光学测试等,适用于不同类型的材料和器件。
6. **良好的热管理**:采用的热传导和绝热技术,确保在高低温环境中设备的稳定性和测试的可靠性。
7. **数据采集系统**:配备的数据采集和分析系统,能够实时监控和记录测试数据,方便后续分析。
8. **模组化设计**:很多探针台采用模组化设计,用户可以根据需要更换不同的探针或附件,提高设备的灵活性。
这些特点使得高低温真空探针台在材料科学、半导体研发及微电子器件测试等领域中被广泛应用。

真空探针台是一种用于微电子和材料科学领域的高精度测试设备,主要用于对半导体wafer、材料样品的电气特性进行测量。其特点主要包括:
1. **高真空环境**:真空探针台能够在高真空条件下工作,减少气体分子对测试过程的干扰,提高测量的准确性和重复性。
2. **高精度定位**:该设备通常配备高精度的定位系统,可以对准探针与样品的接触点,确保测量的准确性。
3. **多样化探针选择**:真空探针台支持多种类型的探针,可根据不同的实验需求进行更换,适应不同的测试任务。
4. **温度控制功能**:许多真空探针台配备了温度控制系统,能够在特定温度下进行测量,对于研究材料的温度依赖特性尤为重要。
5. **高灵敏度测量**:在真空条件下,探针台能够进行更高灵敏度的电气测量,适合于低信号的测量任务。
6. **兼容性强**:真空探针台通常可以与多种测试设备协同使用,如网络分析仪、示波器等,满足多种测试需求。
7. **自动化程度**:现代真空探针台往往具备自动化控制系统,能够实现自动对焦、扫描和数据采集,提高实验效率。
8. **适用范围广泛**:真空探针台不仅可用于半导体行业,还可广泛应用于材料测试、纳米技术、生物传感器等多个领域。
总体而言,真空探针台是进行精细化电气测试的重要工具,其特性使其在科研和工业应用中具有的地位。
探针夹具主要用于电子元件测试和测量,其适用范围包括:
1. **半导体测试**:用于芯片、集成电路(IC)等电子元器件的电气特性测试。
2. **电路板测试**:适用于PCB(印刷电路板)的测试,能够帮助检测PCB上的连接和功能。
3. **研发和实验**:在电子产品的研发阶段,探针夹具可以用于快速原型测试和实验验证。
4. **质量控制**:在生产过程中,探针夹具可用于自动化测试以确保产品质量。
5. **维修与故障排查**:在维修过程中,探针夹具可以用来快速测试疑似故障的元器件。
探针夹具的灵活性和性使其成为电子行业广泛使用的重要工具。
http://www.lightbule-nano.com